1. El sistema del vacío: la bomba mecánica, bomba de paleta rotatoria, arraiga la bomba, bomba molecular, criogénica
bombee, con la trampa fría del sistema grande de la extracción de la velocidad de bombeo de la bomba de difusión del aceite del alto vacío,
bomba de vacío sin aceite opcional de la bomba del forro, tuberías de acero inoxidables y válvulas.
2. El sistema de capa: el 1 sistema - seis sistemas del arma de electrón magnético de alta potencia del ° e de la desviación 270 y
crisol de varios puntos, fuente de ion ayudada del pasillo de la configuración de sistema de la deposición y resistencia de
fuente de la evaporación.
3. Inflación del sistema: flujómetro de gas automático y control del instrumento de la exhibición del flujo.
4. Sistema de control: la pantalla táctil del color, el control del PLC, automático y manual se pueden convertir en ningunos
tiempo. La exhibición en tiempo real detalló los parámetros, control completamente automático del proceso de producción entero,
parámetros de proceso del almacenamiento automático. Los componentes eléctricos principales son marcas famosas por ejemplo
schneider.
5. Sistema de seguridad: determinación del dispositivo de alarma óptico acústico de la anomalía del agua, de la electricidad y del gas, y
ejecución del procedimiento correspondiente de la protección.
6. Sistema de la calefacción y de la hornada: adopte un cuerpo de la calefacción del tubo del acero inoxidable, la temperatura del substrato puede
alcance 350 grados, el metro del control de la temperatura adopta el instrumento conductor japonés,
la precisión del control de la temperatura está más/menos 1 grado Celsius.
7. Control del espesor del film: sistema de vigilancia del espesor del film del cristal de cuarzo, que puede controlar
el índice de evaporación del arma de electrón, controla exactamente el espesor del film, y cambia automáticamente fácilmente
y automáticamente.
8. Arma de electrón y la fuente de la evaporación: la fuente de energía del arma de electrón adopta la frecuencia del poder
subida del voltaje, circuitos del control numérico, chispeando con la protección automática de alta presión, restauración y
la función constante del haz, teledirigida, puede estar en comunión con el metro del grueso del cristal de cuarzo, cubriendo proceso
control automático.
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