1. El sistema del vacío: la bomba mecánica, bomba de paleta rotatoria, raíces bombea, bomba molecular, criogénica
bomba, con la trampa fría del sistema grande de la extracción de la velocidad de bombeo de la bomba de difusión del aceite del alto vacío,
bombas de vacío sin aceite opcionales de la bomba del forro, tuberías de acero inoxidables y válvulas.
2. El sistema de capa: adopción de sistemas múltiples de poder de la farfulla del magnetrón de la frecuencia intermedia
suministre, 1-2 de la blanco desequilibrada del magnetrón, y se equipa del arco caliente del cátodo 6-14, y
la fuente de alimentación del arco, superposición de la C.C. pulsó la fuente de alimentación del prejuicio, el nivel principal internacional de fuente del arco
y fuente de ion de la capa del ánodo; Equipado de 1-2 sistemas de la original importó fuente de descarga.
3. Inflación del sistema: flujómetro de gas automático y control del instrumento de la exhibición del flujo.
4. Sistema de control: la pantalla táctil del color, el control del PLC, automático y manual se pueden convertir en ningunos
tiempo. La exhibición en tiempo real detalló los parámetros, control completamente automático del proceso de producción entero,
parámetros de proceso del almacenamiento automático. Los componentes eléctricos principales son marcas famosas por ejemplo
schneider.
5. Sistema de seguridad: determinación del sonido y del dispositivo de alarma ligero de la anomalía del agua, de la electricidad y del gas, y
ejecución de procedimientos correspondientes de la protección.
6. Calefacción y sistema que cuece: adopte el cuerpo de acero inoxidable de la calefacción del tubo, la temperatura del embase puede
alcance 300 grados, el metro del control de la temperatura adopta el instrumento conductor japonés,
la precisión del control de la temperatura está más/menos 1 grado Celsius.
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